GaAs長晶設備
■ 無EPD 4英寸VGF爐及退火處理（MAT-150VGFHQ2)
■ 無EPD 6英寸VGF爐及退火處理(MAT-200VGFHQ2)
配套設備：
■ PBN 4英寸坩堝退火爐
■ PBN 6英寸坩堝退火爐
■ 石英管焊機
■ 安瓿密封真空爐
■ 石英安瓿管切割機
■ 石英管重整裝置
| PBN 4英寸 | PBN 6英寸 | |
| 最高溫度 | 1400℃ | 1400℃ |
| 使用溫度 | 1250℃ | 1250℃ |
| 升溫速度 | 250℃/h around | 250℃/h around |
| 爐管 | φ160*1430Lmm over | φ210*1430Lmm over |
| 電力 | 380V,4wire，18KVA | 380V,4wire,24KVA |
